氦質(zhì)譜檢漏儀時元器件細檢漏的主要儀器設(shè)備，超聲波檢漏儀目前市面上出售的品種非常多。有國產(chǎn)的，也有進口的；有便攜的，也有臺式的；有專用的，也有通用的。用戶在選購時要根據(jù)自己的需要綜合考慮。

早期的氦質(zhì)譜檢漏儀屬純粹的正常檢漏型，后來又發(fā)展處逆擴散檢漏型。近些年，國外檢漏儀改進了分子泵的架構(gòu)。裝備復(fù)合型分子泵的檢漏儀，不但將正常和逆擴散型的功能合二為一了，超聲波檢漏儀而且對外接工件真空度可以放寬到約1000pa。這種儀器的真空系統(tǒng)。檢漏口的工件可以通過三條通路與分子泵、質(zhì)譜室相連。當外接工件真空度很好時，超聲波檢漏儀TV1閥打開相當于正常型檢漏。外接工作真空度不好，可以分別打開TV1或能改進，即便是逆擴散檢漏，儀器靈敏度也還是較高的。

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