目前質(zhì)譜檢漏多數(shù)采用以低壓高速蒸汽流作為工作介質(zhì)（油）的氣體動量傳輸泵------油擴(kuò)散泵。超聲波檢漏儀它是氦質(zhì)譜檢漏儀獲得高真空的主要設(shè)備，其主要特點(diǎn)是抽氣能力大，抽速范圍寬，對所抽氣體（包括惰性氣體）無選擇性，結(jié)構(gòu)簡單，超聲波檢漏儀沒有機(jī)械運(yùn)動，操作簡單，便于維護(hù)，壽命長，因擴(kuò)散泵油的冷卻方式不同，可分兩種型式，即風(fēng)冷與水冷，在氦質(zhì)譜檢儀中多數(shù)使用“風(fēng)冷式油擴(kuò)散泵”。油擴(kuò)散泵使用時還必須配前置真空泵。

油擴(kuò)散泵的工作工程師當(dāng)油鍋的泵油在真空中被加熱到沸騰溫度（約200攝氏度）時，產(chǎn)生大量地油蒸汽，經(jīng)導(dǎo)管由各級噴嘴定向高速噴出。由于進(jìn)氣口的附近（和**噴嘴上方）被誰抽氣體的分壓力，超聲波檢漏儀所以，被抽氣體分子就不斷地?cái)U(kuò)散到蒸汽流中，這時被抽氣體分子就不斷地?cái)U(kuò)散到蒸汽流中，這時被抽氣體接近蒸汽流動速度被帶向泵壁上被冷凝后又返回到油鍋中被重新加熱，如此循環(huán)工作。

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