被檢容器容積較小時，可以直接接到質(zhì)譜檢漏儀上去進行檢漏，超聲波檢漏儀但是當被檢容器在100m以上，由于容積大，氣量多，表面積大，放氣多，漏孔也可能較多，若直接用質(zhì)譜檢漏儀的抽氣系統(tǒng)來抽，超聲波檢漏儀可能長時間也抽不上去，使得檢漏儀無法工作。即使長時間抽氣后能達到質(zhì)譜儀工作壓力，然而其反應(yīng)時間太長，也難以實現(xiàn)檢漏。因此需要加一個鋪助系統(tǒng)，檢漏時，先用輔助泵將被檢容器抽到低真空后再次機泵（擴散泵）抽，次級泵正常工作后，打開檢漏儀的節(jié)流閥，使被檢容器通過鋪助系統(tǒng)與已抽至極限真空的檢漏儀相連，此時檢漏儀抽氣系統(tǒng)與輔助泵一起做次級泵的前級，超聲波檢漏儀調(diào)節(jié)節(jié)流閥使檢漏儀處于工作壓力下，然后進行檢漏。檢漏時，如節(jié)流閥能全部打開且輔助閥都全部關(guān)閉*好，此時漏入系統(tǒng)的氦氣能全部通過檢漏儀，其靈敏度*高，一般情況都是輔助閥即不能全關(guān)，節(jié)流閥又不能完全打開，因此靈敏度要低很多
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