渦輪分子泵的概述
泵的轉(zhuǎn)速為10000~50000r/min該泵主要用作高真空泵和超高真空泵，
渦輪分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動(dòng)的振動(dòng)分析儀轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機(jī)械真空泵。該泵的工作壓力范圍為1~10-8Pa抽氣速率一般在500L/s以下。但不能直接對大氣排氣，需要配置前級泵。泵的主要性能與配置的前級泵的容量、泵的轉(zhuǎn)速、被抽氣體的種類有關(guān)。分子泵對較輕的氣體抽速較大，對氫的抽速比空氣的抽速大20%
渦輪分子泵與其他高真空泵和超高真空泵相比較具有以下優(yōu)點(diǎn)。
1極限壓力低，先進(jìn)的泵可以獲得10-9Pa極限壓力。
2工作壓力范圍寬，九個(gè)數(shù)量級的壓力范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速。
3結(jié)構(gòu)緊湊，由置于泵體內(nèi)的中頻電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，渦輪轉(zhuǎn)子未整體式結(jié)構(gòu)。
4一種少油泵，既不像其他機(jī)測振儀械泵那樣由油作工作液，也不用油來密封，只是其轉(zhuǎn)子仍然用油來潤滑，可能有少量潤滑油會進(jìn)入被抽系統(tǒng)，
5泵的振動(dòng)小、噪聲低、工作平穩(wěn)、啟動(dòng)時(shí)間短，一般在4~15min內(nèi)能達(dá)到滿抽速。
6對大分子量的氣體有較高的壓縮比，且中頻電機(jī)置于前級空間，能獲得清潔的高真空和超高真空，另外利用對氦壓縮比低的特點(diǎn)，可在逆擴(kuò)散型的氦質(zhì)譜檢漏儀中做主泵使用。

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