泄漏的危害性(上)
泄漏的大小、部位和泄漏的物質(zhì)不同，設(shè)備或器件因功能不同。泄漏所帶來(lái)的危害水平和危害表示也就不同。泄漏的危害性主要表示在以下幾方面。
1破壞真空設(shè)備或真空器件的工作真空度
因此必需預(yù)先將真空設(shè)備和真空器件預(yù)抽到相應(yīng)的或超聲波檢漏儀更高的真空度。一般真空設(shè)備自身帶有抽氣系統(tǒng)，真空設(shè)備和器件要求在一定的真空度下工作。設(shè)備工作時(shí)真空系統(tǒng)仍然對(duì)其抽氣，微小的泄漏存在一般不會(huì)影響其工作真空度，但是比較嚴(yán)重的泄漏任然動(dòng)平衡儀會(huì)破壞設(shè)備的平衡壓力，干擾甚至破壞設(shè)備的正常工作。如：加速器真空度的破壞，將損失粒子的能量；鍍膜機(jī)真空度地破壞，將影響膜層質(zhì)量；對(duì)于電真空器件來(lái)說(shuō)，制造過(guò)程中用相應(yīng)的真空系統(tǒng)將它抽到一定的真空度后便將它密封，如果有器件有漏，器件中的壓力將隨時(shí)間上升，漏孔越大，器件中的壓力上升得越快，由于電真空器件的體積一般很小，因此微小的漏孔也將很快使器件內(nèi)的真空度破壞，使器件無(wú)法工作。

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